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Lasertec OPTELICS H1200 3CCD Real color Confocal Microscope
SOLD OUT sold
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光源:キセノンランプ(白色光)
波長選択:R: 630nm G: 546nm B: 436nm Fullカラー
ステージ稼働:高さ max150mm
対物レンズ x5 , x10 , x20 , x50 , x100

L1200
解像力:0.15μm
高さ測定再現性:(σ)0.02μm
XY寸法測定再現性:(3σ)0.01μm

RGB測定波長の選択機能(1スキャンRGB測定データ同時取得)
2048×2048×3の1200万画素
可変フレーム機能(Variable Frame Rate)0.1~120フレーム/秒、11段階切り替え可
1クリック機能(3D、表面粗さ2D、表面粗さ3D、プロファイル測定、画像キャプチャー)
ソフトウェア機能:多層3D、形状測定、粗さ測定、膜厚測定、パッチワークetc

メーカー定価:16,500,000
SC-450A,MC1000A,PC,Display,Lightningcure(LC8),Lamp,CD-R*2(soft ware),Keyboard,Mouse,Power cord